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多功能 光谱共聚焦3D轮廓仪

产品特点 案例场景 产品规格

光谱共聚焦3D轮廓仪

♦ 适用于透明/高反光 等复杂样品表面的扫描成像

 

♦ 最大扫描重复精度可达 50nm

 

♦ 2D平面尺寸,3D轮廓高低台阶,3D平面度面型测量,表面粗糙度  测试,3D-CAD对比功能,线轮廓度,面轮廓度等

 

灵活测试方案,可以做产线自动化订制;实现在线全检。

 

♦ 最大拼接视野 可达300*300mm

 

                             透明玻璃/高反光金属  手机混合类材料3D检测/测量

   平面度/平整度测试/  BGA植绒球

大视野下 纳米级 粗糙度表面分析

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