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光学3D显微轮廓测量
多功能 光谱共聚焦3D轮廓仪 FocalSpec
纳米级 3D白光干涉成像 KLA-Profilm 3D
全自动 晶圆全检仪 FRT MicroProf®
5轴 空间三维全尺寸显微测量系统 Alicona
原子力台阶仪
亚纳米 全自动 原子力显微镜 Park
亚纳米 半自动 原子力显微镜 Park
纳米级 全自动 接触式 台阶仪 KLA-Tencor
纳米级 半自动 接触式 台阶仪 KLA-Tencor
表面缺陷检测
激光 表面缺陷分析 Lumina
光学 表面缺陷分析 Candela
薄膜厚度表征
透明膜层 单点厚度测量 Filmetrics
透明膜层 面型厚度测量 Filmetrics
透明膜层 在线膜厚测量 Filmetrics
非透明 金属膜层测量 Filmetrics
电性表征测试
电阻率测试仪 四探针台 Filmetrics
小型手动探针台 Semishare
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360度 全景3D显微轮廓测量
表面缺陷检测
表面缺陷 判别统计
穿透式 内部缺陷分析
薄膜膜厚检测
透明膜层 厚度/反射率 -(单点)
透明膜层 厚度/反射率 -(面型)
透明膜层 厚度/反射率 -(在线)
非透明 金属膜 厚度/反射率
电性表征测量
衬底电阻率、片电阻
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DC 直流 / (IV、CV)测试
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RF射频测试
LD/LED/PD的光强/波长测试
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