产品中心
光学3D显微轮廓测量
多功能 光谱共聚焦3D轮廓仪 FocalSpec
纳米级 3D白光干涉成像 KLA-Profilm 3D
全自动 晶圆全检仪 FRT MicroProf®
5轴 空间三维全尺寸显微测量系统 Alicona
原子力台阶仪
亚纳米 全自动 原子力显微镜 Park
亚纳米 半自动 原子力显微镜 Park
纳米级 全自动 接触式 台阶仪 KLA-Tencor
纳米级 半自动 接触式 台阶仪 KLA-Tencor
表面缺陷检测
激光 表面缺陷分析 Onto
光学 表面缺陷分析 Candela
薄膜厚度表征
透明膜层 单点厚度测量 Filmetrics
透明膜层 面型厚度测量 Filmetrics
透明膜层 在线膜厚测量 Filmetrics
非透明 金属膜层测量 Filmetrics
电性表征测试
电阻率测试仪 四探针台 Filmetrics
小型手动探针台 Semishare
半自动 探针台 Semishare
全自动 探针台 Semishare
微纳加工设备
半导体 生产设备
检测设备
测量项目
3D表面轮廓粗糙度
平面度/平整度（面型）
粗糙度/台阶/角度/ 弧度 (探针接触式）
粗糙度/台阶/角度/ 弧度 (光学非接触式）
TTV,BOW,WARP，厚度…
360度 全景3D显微轮廓测量
表面缺陷检测
表面缺陷 判别统计
穿透式 内部缺陷分析
薄膜膜厚检测
透明膜层 厚度/反射率 -（单点）
透明膜层 厚度/反射率 -（面型）
透明膜层 厚度/反射率 -（在线）
非透明 金属膜 厚度/反射率
电性表征测量
衬底电阻率、片电阻
薄膜电阻率、片电导率和体电导率
DC 直流 / (IV、CV)测试
1/ f 噪声测试
RF射频测试
LD/LED/PD的光强/波长测试
低电流（100 fA 级）测试
WLR 可靠性
大功率/大电流及/大电压测试
芯片内部线路/电极/PAD测试
技术服务
To make an appointment
产品咨询
test
上门测试
Testing services
测试服务
解决方案
新闻中心
招聘岗位
联系我们
简体
|
END
400-1059178|18620906383
产品中心
测量项目
技术服务
解决方案
招聘岗位
联系我们
首页
>
产品中心
>
表面缺陷检测
>
激光 表面缺陷分析 Onto
>
PrimaScan 系列
*已整理所有中英文目录，供您下载
激光 表面缺陷分析 Onto PrimaScan
56 次浏览
产品特点
案例场景
产品规格
详情请参阅产品目录
目录下载
登录
获取验证码
登录
忘记密码?
还没有账号？
立即注册
下载资料
获取验证码
本人确认已仔细阅读并充分理解
《个人信息保护政策》
与
《网站使用条款》
的全部内容，同意接受上述协议的全部内容
立即下载
已有账号？
立即登录
