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测量项目
ALICONA EdgeMaster
● 20纳米级别精度,
● 丰富的旋转平台配件,"半自动" 360度扫描成像
● 适用复杂空间结构尺寸测量要求,且可逆向设计
(典型案例:刀具、喷油嘴,高精密齿轮,涡轮片等)
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PARK NX10
独有的True Non-Contact™模式 可编程自动化测量
Park消除串扰技术 亚纳米可靠性
扫描离子电导显微镜模块 丰富应用领域
性价比高 经济首选
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Tencor™ P-7
全自动 更高精度 更高效率
全电动150mmXY级、Z级,360° θ阶段
垂直范围1.2mm
顶部模式识别视图或侧视图测量可视化
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Tencor™ D-600
粗糙度 台阶高精度测量的高性价比
XY自动平台 200mm平台
垂直范围1.2mm
用于测量可视化的侧视图光学系统
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Lumina AT1系列
型 号 :AT1/2
产 地 :美国
采用光学表面分析(OSA)专用技术的自动特征缺陷(DOI)检测与分类系统。
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