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    测量项目

    MicroProf®FE
    全自动光学3D轮廓系统

    MicroProf®FE

    专业晶圆解决方案
    晶圆3D轮廓显微测量
    Max 300mm范围 全视野 3D轮廓扫描测量
    全自动 实现TTV BOW WARP 粗糙度等测试
    MicroProf FE系列 全自动系列
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    MicroProf®FS
    全自动光学3D轮廓系统

    MicroProf®FS

    专业晶圆解决方案
    晶圆3D轮廓显微测量
    Max 300mm范围 全视野 3D轮廓扫描测量
    全自动 实现TTV BOW WARP 粗糙度等测试
    MicroProf FS系列 全自动系列
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    ALICONA InfiniteG5
    5轴 空间三维全尺寸显微测量系统

    ALICONA InfiniteG5

    推荐理由：
    ● 20纳米级别精度，
    ● 丰富的旋转平台配件，"全自动" 360度扫描成像
    ● 适用复杂空间结构尺寸测量要求，且可逆向设计
    （典型案例：刀具、喷油嘴，高精密齿轮，涡轮片等）
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    ALICONA EdgeMaster
    5轴 空间三维全尺寸显微测量系统

    ALICONA EdgeMaster

    推荐理由：
    ● 20纳米级别精度，
    ● 丰富的旋转平台配件，"半自动" 360度扫描成像
    ● 适用复杂空间结构尺寸测量要求，且可逆向设计
    （典型案例：刀具、喷油嘴，高精密齿轮，涡轮片等）
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    PARK FX40
    亚纳米 全自动原子力显微镜

    PARK FX40

    全过程 自动化操作 产线流水设计
    全自动更换探针
    双摄像头 自动识别扫码
    自动激光校准 全过程自动化操作
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    PARK XE7
    亚纳米 半自动原子力显微镜

    PARK XE7

    创新研究的经济之选
    所独有的True Non-Contact™模式
    开源的设计 允许您整合其他附件
    简洁的图形用户界面和自动化工具
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    PARK NX10
    亚纳米 半自动原子力显微镜

    PARK NX10

    创新研究的最佳途径
    独有的True Non-Contact™模式 可编程自动化测量
    Park消除串扰技术 亚纳米可靠性
    扫描离子电导显微镜模块 丰富应用领域
    性价比高 经济首选
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    PARK NX12
    亚纳米 半自动原子力显微镜

    PARK NX12

    用于分析化学 最全面的AFM
    电化学测试的绝佳平台
    原子力显微镜(AFM)有纳米级分辨率成像以及电、磁、热和机器性能测量的能力。
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    Tencor™ P-7
    纳米级 全自动接触式台阶仪

    Tencor™ P-7

    全自动 接触式台阶仪
    全自动 更高精度 更高效率
    全电动150mmXY级、Z级，360° θ阶段
    垂直范围1.2mm
    顶部模式识别视图或侧视图测量可视化
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