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测量项目
Filmetrics F60-C
适用于产线全自动膜厚测量
一键自动测量，操作简单
自动寻找v-槽、自动基准校正、运动联锁装置的封闭式测量台
需根据测量厚度，选择相应波长型号配置
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Filmetrics F30
F30光谱反射率系统能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数（n和k值）
测量精度高于±1%
需根据测量厚度，选择相应波长型号配置
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Filmetrics® R50-系列
● 衬底电阻率、片电阻等电性能测试
● 非透明，金属膜和背面工艺层厚度测量
● 可选配接触式四点探头和非接触式涡流探头
● 性价比高
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Filmetrics® R50-系列
● 薄膜 衬底电阻率 片电阻测试
● 金属膜和背面工艺层厚度测量
● 衬底电阻率、片电阻等电性能测试
（可选配接触式四点探头和非接触式涡流探头）
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M系列小型手动探针台
兼容4/6寸平台大小
测试器件的PAD点大于30μm
DC直流/(IV、CV、I-t、V-t),DC直流/低电流（100fA级）测试，1/f噪声测试，器件表征测试，RF射频
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E系列 增强型手动探针台
兼容4/6/8寸平台
能实现1μm以上的电极Pad测试
毫米波mmW,FA、MEMS、WLR和光电等测试
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H系列综合性手动探针台
兼容6/8/12寸平台
卡盘移动技术，可满足客户对整片晶圆高效测试的需求
可搭配不同的套件实现更宽泛的测试功能
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FA系列 失效分析型探针台
兼容1/2寸平台
兼容高倍率金相显微镜，可达到1μm以上的Pad测试
高精度系统，激光加工精度可达1*1μm
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C系列 高低温手动探针台
兼容12寸平台
高低温环境下，0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试、高频、射频测试
高低温环境下，LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，材料/器件的IV/CV特性测试
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