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团队超20年的从业经验，熟知光学、光谱、电性等行业测试，我会在最快的时间与您联络；
销售：廖经理
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Filmetrics® R50-系列
● 薄膜 衬底电阻率 片电阻测试
● 金属膜和背面工艺层厚度测量
● 衬底电阻率、片电阻等电性能测试
（可选配接触式四点探头和非接触式涡流探头）
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M系列小型手动探针台
兼容4/6寸平台大小
测试器件的PAD点大于30μm
DC直流/(IV、CV、I-t、V-t),DC直流/低电流（100fA级）测试，1/f噪声测试，器件表征测试，RF射频
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H系列综合性手动探针台
兼容6/8/12寸平台
卡盘移动技术，可满足客户对整片晶圆高效测试的需求
可搭配不同的套件实现更宽泛的测试功能
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FA系列 失效分析型探针台
兼容1/2寸平台
兼容高倍率金相显微镜，可达到1μm以上的Pad测试
高精度系统，激光加工精度可达1*1μm
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C系列 高低温手动探针台
兼容12寸平台
高低温环境下，0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试、高频、射频测试
高低温环境下，LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，材料/器件的IV/CV特性测试
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CG真空高低温探针台
兼容2/4寸平台
探针定位精确为10um,探针漂移量优于土60nm/30mins的高精度点针
实现测试漏电精度达50FA
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X系列 半自动探针台
集成了电学、光波、微波等多功能，半自动测试
兼容6/8/12寸平台
可配备相应的仪器仪表，进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析，设备功能丰富
可升级大功率晶圆测试、射频测试、全自动测试
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A系列 全自动探针台
全自动化系统运行，快速安全可靠测试
兼容12寸平台
CHUCK高效测试系统，运行速度超200mm/s
可升级自动wafer厚度测量和ID读卡
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